二手 PLASMATHERM Versaline #293621803 待售
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ID: 293621803
優質的: 2014
ICP-RIE System
Missing parts:
Valves
Elevators
Power supplies
Generators
Pumps
2014 vintage.
PLASMATHERM Versaline 蝕刻器/asher是一種先進的等離子體蝕刻和灰燼設備,設計用於提供卓越的零件蝕刻、晶圓清潔和表面處理能力。該系統由模塊化組件組成,可定制這些組件以滿足蝕刻/灰分解決方案行業的特定需求和趨勢。Versaline的加工室由304個不銹鋼和一個PFA襯裏組成。這種蝕刻器/灰化器是真空密封的，氣密和耐酸的，以確保可靠和安全的操作。一個強大的電場發生器在工作溫度和壓力水平變化的氧氣或氮氣氣氛中的過程室中產生等離子體。這種等離子體使PLASMATHERM Versaline能夠以高精度和重復性在金屬、合金、陶瓷和半導體上蝕刻復雜的形狀、凹槽和圖案。蝕刻過程通常通過有機溶劑蝕刻、濕氧化、反應性離子蝕刻（RIE）等一系列化學過程進行。該單元提供兩種截然不同的蝕刻技術，即「濕化學蝕刻」和「反應性離子蝕刻」。此外，Versaline還采用濕法和幹法相結合的蝕刻工藝，有利於工業部件的制備。這種蝕刻器/灰化器對化學和機械汙染物都具有抵抗力，可用於多種應用，包括化學機械拋光（CMP）和等離子體加工。PLASMATHERM Versaline還提供出色的表面制備性能，這是因為它具有高靈敏度、高精度以及能夠精確、重復地控制蝕刻速度和深度等多種因素。總體而言,Versaline 蝕刻器/Asher是一臺高級且可靠的機器,旨在滿足高級蝕刻/灰分解決方案的需求。除了化學機械拋光和等離子體處理功能外,它還提供多功能的蝕刻和灰燼功能,具有卓越的精度和可重復性。
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