二手 PLASMATHERM Versaline #293623685 待售

PLASMATHERM Versaline是一款用途廣泛的蝕刻和灰化蝕刻設備,旨在滿足實驗室和行業專業人員的需求。Versaline將質量蝕刻所需的可靠、可重復、高精度的蝕刻和灰化工藝與商業生產所需的創新設計和閉環工藝控制功能結合在一起。PLASMATHERM Versaline采用13英寸高對比度液晶觸摸屏顯示屏,易於操作,並采用模塊化設計,支持多達8個工作站,以最大限度地提高生產吞吐量。多氣體控制（MGC）系統為用戶提供了在惰性氣體和反應性氣體之間進行選擇的靈活性，以滿足特定的工藝要求。憑借Versaline全面的生產監控跟蹤單元，用戶可以從頭到尾準確監控蝕刻和灰化過程的方方面面。PLASMATHERM Versaline由兩級電感耦合等離子體（ICP）源供電，以獲得最佳的蝕刻和灰化性能。Versaline利用最先進的數字電源來提供高達3,000瓦的功率,以便對蝕刻和灰化過程進行更好的控制。PLASMATHERM Versaline精細可調的機電運動機確保晶圓的精確定位。Versaline提供了多種等離子體密度均勻的工作室幾何形狀,用於高通量生產和均勻蝕刻/灰化結果。PLASMATHERM Versaline設計了一個不銹鋼腔室，以確保質量蝕刻和灰化結果。Versaline能夠處理的工藝包括但不限於稀有氣體、鹵化物和稀土化合物。腔室蓋設計為含有蝕刻煙霧和顆粒物，最大限度地減少先前蝕刻過的晶片的汙染。PLASMATHERM Versaline還提供多功能和高性能選項。Versaline的集成控制工具允許用戶自定義流程配方並將其召回以備將來運行。板載分析儀可以在蝕刻和灰化過程中監測腔室的氣體成分，以實現最佳的工藝控制。PLASMATHERM Versaline還具有一個具有內置診斷和分析功能的流程監控模塊,以確保質量結果和最大限度地提高流程一致性。Versaline是一種創新的蝕刻和灰化蝕刻資產，旨在滿足任何實驗室或工業生產環境的要求。PLASMATHERM Versaline先進的操作模式、精密的過程控制和模塊化設計使其成為可靠、可重復、精確的蝕刻和灰化結果的理想選擇。