二手 PLASMATHERM Versaline #9254663 待售
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ID: 9254663
晶圓大小: 3"-8"
優質的: 2011
ICP Etcher, 3"-8"
(4) Chambers
(4) PM Modules
Cassette to cassette
BROOKS AUTOMATION MX 600 Handler station
2011 vintage.
PLASMATHERM Versaline是一種經濟實惠的蝕刻和灰化設備，用於高分子和玻璃基板的精密介電蝕刻和快速灰化。Versaline是為精確控制蝕刻工藝參數而設計的，它提供了均勻且可重復的蝕刻輪廓，且蝕刻超調最小。利用射頻功率和多種等離子體氣體，可以實現增強蝕刻均勻性、選擇性和輪廓控制。PLASMATHERM Versaline系統由單個圓形卡盤和兩級真空室組成。卡盤有一個中心電極，用於等離子體產生的化學蝕刻過程。四條氣體管線將加工氣體送入腔室，腔室被一個預冷墻和一個石英視口封閉，用於過程監測。可移動的垂直射頻線圈允許精確調整等離子蝕刻輪廓。該機組在50 mTorr至760 Torr的壓力範圍內運行，並有一個用於排氣和裝載的氣鎖室。Versaline蝕刻器專為流程執行而設計，並配有全面的用戶界面和流程配方編輯器。通過使用Lambda軟件的PLASMATHERM Versaline控制器提供與腔室的接口。Lambda軟件包括一臺先進的底物溫度、壓力、射頻功率和等離子體密度監測機器。可以實時更改和微調工藝參數。此外，Versaline工具還提供了一系列復雜的選項，包括用於溫度控制的靜電卡盤、基板旋轉，以及與廣泛的其他基板集成的能力，例如薄膜沈積系統。PLASMATHERM Versaline能夠對分子納米復合材料、聚合物和玻璃等多種樣品材料進行快速熱處理，並提供出色的均勻性和蝕刻輪廓控制。精密控制蝕刻輪廓的能力使得Versaline非常適合高精度蝕刻、灰化和退火過程。它也是實現納米級光刻和蝕刻應用的控制深度和輪廓的理想工具。PLASMATHERM Versaline是納米級器件的一項具有成本效益的蝕刻和灰化資產，理想地適合需要微調蝕刻和灰化系統的廣泛實驗室。Versaline在納米級蝕刻基板方面提供卓越的性能、準確性和可靠性。
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