二手 PLASMATHERM Versaline #9254667 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 9254667
晶圓大小: 3"-8"
優質的: 2011
CVD System, 3"-8"
(3) Chambers
(2) PECVD Chambers
HDP-CVD Chamber
(3) Power modules
BROOKS AUTOMATION MX 600 Handler station
2011 vintage.
PLASMATHERM Versaline是一款先進的蝕刻/asher機器，設計用於半導體生產和研究行業的各種應用。它既適用於批量應用，也適用於單片應用，其緊湊的尺寸使得它成為空間有限的實驗室的絕佳選擇。Versaline提供卓越的精確度和靈活性,使用戶可以使用多種不同的蝕刻和灰化技術。它包括一系列專門的功能，如多階段蝕刻工藝、超壓保護、均勻性控制和自動清洗模式。該機還設有支持多個軟件包的現代化控制設備，允許在多種設置中使用。與大多數的灰化系統不同，PLASMATHERM Versaline被設計成在完全密封的腔室中運作。這種創新的真空密封技術有助於消除可能汙染容器的顆粒和氣體，提高輸出質量。該系統有一個功能強大的流程部分,可為用戶提供多種選擇,幫助他們實現所需的結果。它配備了供氣和排氣單元，以及多種加熱能力。這使用戶能夠以令人難以置信的精確度控制多個參數，包括壓力、流量和溫度。當結合其旋轉階段，這使得它非常適合蝕刻和灰化與一系列的基材。憑借其先進的軟件套件，Versaline可以輕松與其他系統集成，形成無縫生產線。此外，利用其明確的維護模式，可以方便地從控制機內進行監控和維護程序。這可以幫助用戶快速識別異常,並在工具或基板受到任何損壞之前糾正異常。考慮到所有這些因素，PLASMATHERM Versaline對於那些尋找高度可靠和精確的蝕刻和灰化機的人來說是一個理想的選擇。其獨特的特點和直截了當的操作使其在大多數競爭對手中占有優勢，因此非常值得任何實驗室考慮。
還沒有評論