二手 PLASMATHERM Versalock 700 #293729350 待售
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ID: 293729350
晶圓大小: 6"
優質的: 1998
Reactive Ion Etcher (RIE), 4"
Dual chamber
(2) NESLAB Chillers
(3) EDWARDS iQDP80 Pumps
Process module: CF4 / N2 / CHF3 / AR / SF6 / O2
RF1, RF2 (RFPP RF5S)
Loadlock
Handler
VAT gate valve
Transfer robot
Throttle valve
Manuals
Cortex computer and software
Operating system: Windows 10
1998 vintage.
PLASMATHERM Versalock 700是為金屬蝕刻和玻璃蝕刻應用而設計的高性能、基於陶瓷的熱蝕刻/灰化機。這臺機器的最高溫度範圍高達700 °C，專門為一系列蝕刻和灰化應用而設計，如超精密減法和晶圓維護。這臺機器為超微加工過程提供了極好的準確性和可重復性，例如生產高密度互連（HDI）電路、超薄設備和嵌入式內存結構。Versalock 700采用閉環主動控制設備，在蝕刻和灰化過程中提供精確一致的熱循環。主動閉環系統可實現最苛刻的蝕刻應用所需的精確溫度控制。另外，加熱單元的可控性給出了一個非常低的溫度變化系數的重復結果。這種低方差系數對於高度精確的熱蝕刻過程是必需的。這臺先進的蝕刻機設有兩個獨立的蝕刻和灰化部分，每個部分都有個性化的熱控制。它還有一個自動校準機，確保所有加熱元件在任何過程開始之前都在設定的公差範圍內運行。此外,PLASMATHERM Versalock 700還具有自我監控功能,並配備了警報工具,可以提醒操作員任何資產故障或其他問題。這臺最先進的蝕刻機生產率高、效率高，最大模型吞吐量為900um/min。輸出由先進的板載PID型脈沖調制設備控制和維護，使操作員完全控制蝕刻溫度。此外,內置熱循環器可以精確控制熱循環,同時減少系統的總閑置時間。Versalock 700寬敞的工作室為最大8英寸的大型晶片提供了充足的空間。它還具有在蓋子和底座之間的陶瓷鎖定機構，以確保工藝室的良好沖洗，以實現最佳的傳熱和一致的蝕刻結果。PLASMATHERM Versalock 700體積小巧、堅固耐用、可靠性高,專為在研發或生產環境中運行而設計。它與一系列專業流程兼容,並以一年保修為後盾。總而言之,Versalock 700是一款多功能、高性能的蝕刻/灰化機,它將最高的精度和一致性與高輸出和用戶友好的操作結合在一起。這臺機器是各種苛刻蝕刻和灰化工藝的理想選擇。
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