二手 PLASMATHERM Versalock 700 #9355618 待售
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ID: 9355618
晶圓大小: 8"
Reactive Ion Etcher (RIE), 8"
LM/TM Module
RIE Module
Cassette to cassette load lock
Robot transfer
LEYBOLD 361C Turbo pump with controller
MKS Throttle valve with controller
ADVANCED ENERGY RF10S 1000 W RF Lower electrode power supply
With match work and tuner
(4) Mass flow controllers.
PLASMATHERM Versalock 700是一種高品質的蝕刻/灰分工具,用於多種基材材料和工藝。這種精確的設備在使用各種尺寸的基板時可確保可重復的準確性和均勻性。它采用獨特的符合人體工程學的濕式工作臺設計,最大限度地提高用戶舒適度,同時保持安全的工作環境。Versalock 700提供了一個寬的過程窗口,允許在蝕刻或ashing時獲得高保真結果。PLASMATHERM專有VersaLock™模式選擇功能允許用戶將系統配置為最多可同時處理四個基板的多模式。這樣可以確保所有基板上的蝕刻/灰分一致,從而提高均勻性和可靠性。利用先進的蝕刻技術,PLASMATHERM Versalock 700在生產線環境中精確、可重復,能夠保持工藝參數的一致和統一。它具有高度適應性的過程控制功能,使設備能夠在提供質量結果的同時提供最大的吞吐量和精度。Versalock 700還提供各種配件,旨在根據特定應用定制蝕刻/灰燼工藝。這包括樣品支架、樣品架、過程監控傳感器和質量流控制器。它還有一個可選的超低壓蝕刻,非常適合精細的特點和精致的基材材料。PLASMATHERM Versalock 700還配備了綜合安全機器,以保護用戶免受傷害。這包括內置的防止加熱氣體逸出的幹式機櫃、防止過熱的熱切工具以及設計用於在壓力水平超過預定極限時釋放的壓力聯鎖裝置。總之,Versalock 700是一種先進的蝕刻/灰分工具,為各種基材材料和工藝提供精確、可重復的結果。利用其廣泛的進程參數窗口,用戶可以根據特定的應用程序定制蝕刻/灰分過程。它還具有廣泛的安全資產,以保護用戶免受風險和傷害。
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