二手 PLASMATHERM Versalock 700 #9355619 待售
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ID: 9355619
晶圓大小: 8"
PECVD System, 8"
LM/TM Module
Cassette to cassette load lock
Robot transfer
(6) Zones WATLOW Chamber heat controller
ADVANCED ENERGY RF5S 500 W RF Lower electrode power supply
With match work and tuner
(4) Mass flow controllers.
PLASMATHERM Versalock 700是一款用於精確材料加工的最先進的蝕刻器/asher。它利用最新技術延長任何項目的壽命,從超細金屬痕跡到大型原型。Versalock 700提供材料科學、研究和工業應用所需的多功能性和功能。PLASMATHERM Versalock 700具有先進的人體工程學設計控制面板,可提供實用、易於使用和直觀的用戶體驗。精確的2.8英寸LCD彩色觸摸屏使用戶能夠快速準確地配置和保存作業,以防止功能退化。382 MB的標準內存容量結合大型圖形液晶,最多可存儲40個進程程序,不需要額外的硬件。先進的化學材料具有多種蝕刻和磨料清潔能力。提供多種濕法化學蝕刻和灰化選項,包括粉末爆破和蝕刻。與所有PLASMATHERM系統一樣,還提供可定制的清理選項,如超聲處理、自動晶圓傳輸和擴展機器人操作。Versalock 700能夠通過按下按鈕蝕刻或燒掉不需要的材料,是高效操作的理想選擇。在其核心上,PLASMATHERM Versalock 700配備了兩個具有閘極的總線,以盡量減少對基板和晶圓表面特征的傷害。這些總線中的每一個都配有3-Axis機器人,以精確存放和協調每個目標晶片。機器人還具有距離基板高達+1"的隔離範圍,確保來自外部的汙染為零。此外,Versalock 700可以編程為在高電流和標準電源配置之間切換,以提高工藝效率。PLASMATHERM Versalock 700位於10級潔凈室中,可提供完全封閉、無汙染的工作環境。設備配有集成二極管激光器,只能均勻地影響目標材料,不需要額外的電源。此外,Versalock 700消除了與自動氣體輸送裝置交換蝕刻系統氣體相關的時間和成本。對於具有眾多可定制選項的高效蝕刻/abling機器,PLASMATHERM Versalock 700是優越的選擇。其直觀的設計和易於使用的特性使其成為任何蝕刻或燒蝕作業的理想選擇。
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