二手 PLASMATHERM VLN - Versaline #9124972 待售
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ID: 9124972
優質的: 2005
ICP Etcher
Manual load lock - four wafer transfer
(RF1)ENI ACG-6B RF 500W - 13.56MHz power supply with a seren AT6NVL match work - MC2 controller
(RF2) ENI GMW-25A 2500W - 2.00MHz with seren AT25NVL match work - MC2 controller
Seiko seiki 1303CV turbo pump and SCU 700 controller
Inter cal gate valve
Edwards scroll roughing pump
(6) Mass flow controller/gas lines with isolation
Process and bypass valves
He backside cooling
Watlow chamber heaters and controllers
Jorin yvon endpoint
Plasmatherm windows based OS
208V, 3 Phase, 50/60 Hz
2005 vintage.
PLASMATHERM VLN-Versaline 蝕刻器/asher是一種精密控制的晶片加工機,設計用於蝕刻/灰分各種類型的材料,包括晶片、金屬和矽基板。該機利用等離子體源以及高水平的控制和精確度來提供優異的蝕刻/灰化效果。Versaline的關鍵功能包括高精度控制、快速等離子體蝕刻/灰化以及精密的過程控制功能,這些功能允許具有挑戰性的晶圓處理。該機利用100MHz射頻發電機產生高達900瓦的射頻功率，用於優化晶圓蝕刻/灰化。該機的12區蝕刻/灰室具有廣泛的運動範圍，可以精確控制蝕刻/灰參數，包括溫度，以獲得最佳的加工純度。每個區域都有自己獨立的過程控制和壓力控制系統，以確保精確的結果。該機還設有一個12區烘烤站，在蝕刻/灰化前對晶片進行預處理，使用戶可以實現更好的均勻性和過程重復性。烘烤站自設獨立的溫壓控制系統，精度更高，效果更好。Versaline蝕刻/灰室采用優質鋁制成，焊接結構，提供剛度、耐用性和優越的工藝性能。它還具有一個可編程的用戶界面，可以對蝕刻/灰分參數進行簡單有效的編程。此外,用戶界面還有助於實時跟蹤流程歷史記錄和監控性能。總之，VLN-Versaline 蝕刻器/asher是一種精密控制的晶圓加工機，旨在快速、準確地提供優異的蝕刻/灰化效果。它有一個復雜的多區域蝕刻/灰室，一個可編程的用戶界面，和一個預先處理晶片前蝕刻/灰化烘烤站。憑借其高品質的構造和先進的功能，這臺機器提供了一致的結果和高水平的客戶滿意度。
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