二手 PLASMATHERM VLR #9139623 待售

PLASMATHERM VLR
ID: 9139623
晶圓大小: 6"
優質的: 1996
RIE LM/TM systems, 6" 1996 vintage.
PLASMATHERM VLR是一種蝕刻器/asher,具有一系列出色的功能,使高精度制造成為可能。這一設備由頂級材料制成,包括304個不銹鋼、鋁、陶瓷部件。它可以在多種基板上實現高達75 nm的蝕刻深度,包括金屬、聚合物和電介質。該系統具有高效的單流設計,這意味著它能夠以多流系統成本的一小部分實現最大精度。單流設計還降低了交叉汙染的風險,使敏感產品更加安全。其直觀的觸摸屏界面使其易於使用。它具有廣泛的控制過程的特點,包括可選的等離子體氣體、3級蝕刻、可調停留時間和可編程功率輸出。該單元還包括安全功能,如緊急關閉開關和可調節的安全防護。此外,它還提供內置的等離子體診斷程序,以監控過程並提供有關蝕刻過程狀態的反饋。VLR提供一致、準確的蝕刻。它具有提高蝕刻質量的高速換擋運動。可調深度允許精確控制蝕刻,從而使用戶能夠創建完美的精加工。它還具有獨特的雙手控制機器,使操作方便舒適使用。該工具是環保的,比其他系統使用的能源少70%,廢物產量少97%。此外,資產只需要一個等離子體腔室即可操作,便於維護。這有助於節省維修和更換部件的成本,並確保減少停機時間。總體而言,PLASMATHERM VLR是一款先進的高科技蝕刻器/asher,專為實現最高的精度和效率而設計。它具有良好的易用性、安全性和效率。它節省了成本、高精度和高端性能,使其成為任何制造過程的絕佳選擇。
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