二手 PLASMATHERM VLR #9139644 待售

PLASMATHERM VLR
ID: 9139644
晶圓大小: 6"
優質的: 1998
ICP Bosch system, 6" 1998 vintage.
PLASMATHERM VLR是一種能夠滿足現代工業工藝苛刻需求的最先進的蝕刻機/asher機。VLR旨在提供精確且可重復的過程結果,同時將成本和時間因素降至最低。PLASMATHERM VLR的大型工作室長約63立方英尺,加壓至高達13.3 psig。這允許了廣泛的過程,包括高溫/壓力等離子體蝕刻、反應性離子蝕刻(RIE)和灰化。該機采用兩級高壓直流電源,允許脈沖直流和脈沖等離子體蝕刻序列。它還具有進行交替極性蝕刻的能力,使其對某些材料的蝕刻效率更高。VLR的設計使得對任何材料進行嚴格的蝕刻和灰化成為可能,並且可以密切控制蝕刻速率、表面狀況和電導率。它還具有專利的多孔徑放電系統,用於精確控制蝕刻/灰度時間和劑量。此外,其隔熱室氣體容器的外殼也有助於最大限度地減少顆粒汙染。機器的用戶界面直觀易用,包括圖形顯示、數字數據顯示等多種顯示選項。該軟件能夠存儲多達10個配方,以便於召回和編程方便。機器還具有自動調整功能,可確保對任何基材進行精確的蝕刻或灰化。PLASMATHERM VLR的安全功能也是一流的,用戶界面上有一個緊急停止按鈕,用於快速緊急關閉能力,還有一個煙霧密封系統,用於捕獲和安全清除任何有毒的煙霧、顆粒或蒸氣。總體而言,VLR 蝕刻器/asher是滿足工業蝕刻和灰化需求的理想選擇。它是一臺高度先進的機器,具有精確的蝕刻/灰化功能、直觀的用戶界面、安全的操作,而且用途廣泛,可以滿足各種蝕刻/灰化需求。此外,它體積小巧,噪聲水平低,非常適合任何規模的設施中的操作,而且成本相對較低,因此是許多應用程序的經濟高效選擇。
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