二手 PLASMATHERM VLR #9205771 待售

PLASMATHERM VLR是為半導體、光電和微電子行業的各種應用而設計的最先進的蝕刻器/asher。這臺用途廣泛的機器非常適合深層反應性離子蝕刻（DRIE）、等離子體灰化器以及其他需要精密蝕刻和灰化的工藝。該機基於三區設計，允許底物在第一區用氣態氧或活化氮「預處理」，以去除表面汙染物，防止表面損壞。第二個區域被設計為充分銳化已經蝕刻到基板上的特征。第三個區域提供惰性氣氛，能夠在同一個爐中蝕刻和退火。這臺機器裝有微波發電機，用來制造等離子體場。與傳統的射頻技術相比，這提供了更高的精度。微波功率可以調節，使工藝速率得以優化。這也提供了一個有效的安全功能，無法檢測到基板的錯位導致立即關機。該機器還可以安裝額外的升降頭和底板，允許在真空環境中退火，這對於實現鎳和金的高均勻性是必不可少的。基板也直接加熱，允許更高水平的溫度均勻性。VLR配備了高級軟件，使用戶能夠控制和監控流程的各個方面。它也與種類繁多的氣體兼容，使得它可以在許多不同的蝕刻和灰化應用中使用。這些功能使PLASMATHERM VLR成為各種行業的理想選擇,使用戶能夠以最低的工作量獲得較高的生產率和效率。該機器也是高度可靠的，確保過程是可預測的重復和質量的結果是一致的。這樣可以確保此通用系統是實現高性能和準確性的絕佳選擇。