二手 PLASMATHERM VLR #9225837 待售

PLASMATHERM VLR是一種先進的幹蝕刻設備，設計用於高精度的微加工，具有蝕刻復雜3D圖樣的能力。該系統基於行業標準的無功離子蝕刻（RIE）技術，利用高壓等離子體以受控方式從基板上去除目標材料。它結合了高光譜亮度和高功率密度，以極高的精度和重復性實現超快蝕刻速率。VLR由一臺極高頻射頻（RF）發電機、單元控制軟件和一個有兩個獨立平面等離子源的真空室組成。這些與射頻發生器相連的平面等離子體源提供了均勻的等離子體生成，確保了具有多種特征的零件的高精度微加工。PLASMATHERM VLR是針對各種材料上的真空和反應性氣體化學而量身定制的，包括許多高長寬比結構。其設計支持氧化物和非氧化物蝕刻，在多平面腔室上具有可調節的偏置電壓，可實現對不同材料的高選擇性。該蝕刻機還能夠退火、鈍化和沈積過程。該工具支持各種功率密度,確保各種幾何形狀的最佳蝕刻參數。它配備了實時監控，能夠精確控制蝕刻工藝參數。該軟件還為配方開發提供了用戶友好的界面。VLR的設計占地面積很小，而且利用了非腐蝕性材料，使其易於適應幾乎任何實驗室環境，包括潔凈室。它也是完全自給自足的，使得安裝和例行維護容易執行。總體而言,PLASMATHERM VLR是不斷要求高精度和高速度的應用的絕佳選擇。其獨特的特點組合，使其成為微加工要求較高的項目的理想選擇，具有可重復的效果。