二手 PLASMATHERM VLR #9225838 待售

PLASMATHERM VLR是由PLASMATHERM Applied Technology開發的蝕刻和灰化設備。這臺多用途的機器設計可以容納廣泛的基板，包括半導體、微電子、光伏元件等等。適合各種工作，從簡單到復雜，保證高質量的成果。VLR由幾個組件組成，包括集成氣體控制臺（IGC）、氣體處理控制臺（GPC）、自動加載/卸載以及單室或多室處理室。IGC包括一個數字顯示屏，方便系統操作和氣體流量調節，允許精確控制蝕刻/灰分配方。GPC管理氣流和壓力,最多可存儲15種蝕刻/灰分配方。該機采用等離子體蝕刻和氮氣灰化相結合的方式，由專有的高密度微波發生器實現。這使得可重復的結果具有強大的選擇性和銳利的分辨率，而它的旋轉木馬允許快速加載和卸載基板。此外,該設備的遠程診斷能力允許快速檢測和補救操作異常。PLASMATHERM VLR是一種精密的蝕刻器/asher機器,可提供具有一致和可靠性能的可重復結果。其用戶友好的設計使操作員能夠直觀地與工具交互，其快速高效的操作有助於減少停機時間並提高吞吐量。該資產是尋求可靠蝕刻和灰化能力的半導體制造商的絕佳選擇。