二手 PLASMATHERM Waf'r Batch 74 #9050092 待售

PLASMATHERM Waf'r Batch 74是由Plasma Therm LLC所創造的蝕刻器/asher設備。它設計用於對<200 µm和>200 µm厚的遮罩層進行精密蝕刻和灰化。批量系統設計有兩種氣源，一種用於等離子體蝕刻，另一種用於Ashing。氣源由定制控制器控制，允許使用具有多個壓力控制選項的單循環或多循環配方。該工具的特點是熱解石墨（PG）室具有低磁場和堅固的加熱-冷卻單元。PG提供了一個最佳的真空環境，並確保了較高的過程均勻性。加熱冷卻機確保溫度保持在晶圓上設定點的幾攝氏度以內。批處理工具采用模塊化設計,可在流程要求時輕松升級。它配備了高速裝卸資產，以減少加工時間和先進的真空模型，以實現有效的真空控制和工藝精度。它裝有高速、高分辨率的編碼器，確保晶圓定位精確，蝕刻和灰化均勻。批處理設備使用的軟件用戶友好，為用戶提供保存配方的選項，對支持的工具具有遠程訪問和聯網功能，並生成報告。批處理系統還具有多項安全功能。其中包括緊急停車、聯鎖裝置、電源面板和冷卻劑機器。緊急停止允許操作員在緊急情況下快速停止工具。互鎖工具可防止操作員出錯和使用不正確。電源面板監視和控制資產。最後,冷卻劑模型有助於保持溫度在安全水平.綜上所述,PLASMATHERM Waf 'r Batch 74使用先進的系統,對<200 µm和>200 µm厚的掩蔽層進行可靠的蝕刻和粉刷。它是一種安全高效的工具，方便操作員管理蝕刻和灰化過程。