二手 POLARON PT7160 #293636654 待售

POLARON PT7160是一種最先進的反應性離子蝕刻器/灰化器，設計用於電介質和導電材料的精密蝕刻和灰化。它是一個強大、高性能的蝕刻器/asher,具有廣泛的流程功能。設備包括一臺300 MHz射頻發電機和一個工藝控制模塊，可精確調整腔室壓力和蝕刻/灰化率。它具有石英腔室和自動鏡面采樣技術，用於精確控制蝕刻或灰化輪廓。PT7160能夠處理標準和非標準的底物，如氧化矽晶片、化合物半導體（III-V、II-VI和IV-VI）、磷化合物（GaAs、AlGaAs、InGaAs和InP）、超導材料。該腔室設計用於處理各種氣體，包括O2、CHF3、SF6和H2的混合物。該系統還具有1至10 mTorr的腔室壓力範圍,可提供良好的選擇性、較低的蝕刻速率和精確的蝕刻/灰分剖面。蝕刻和灰化率也可以在10-900°C的溫度室範圍內精確調整。POLARON PT7160具有極好的工藝重復性,蝕刻和灰化率保持在5% ±以內.此外,該單元還提供多用途的工藝功能,如多層蝕刻、圖樣繪制、表面清潔、蝕刻、溝槽處理和剖析。該機器還配備了可編程的加工氣體混合物，以提供幾乎無限的加工能力。PT7160具有精確的控制、先進的功能和堅固的設計,是那些希望精確控制蝕刻/灰燼輪廓的人的理想蝕刻器/灰度。