二手 POLYFLOW S-314 #9378987 待售

POLYFLOW S-314是一種用於微加工過程的蝕刻器/粉碎器設備。它旨在為各種先進的半導體任務提供精確的蝕刻和清潔。該系統經過專門設計，以滿足現代生產流程的高需求，允許高吞吐量、精確控制和最大靈活性。S-314配有一個三室單元，可以進行蝕刻、ashing和鈍化處理。此設置為不同的基材尺寸和工藝步驟提供了高效可靠的工藝。這些腔室中的混合氣體分配機確保了統一的過程結果，並且該工具可針對每一個單獨的過程進行定制。POLYFLOW S-314由精密機器人驅動，允許以關節精度和高吞吐量進行自動裝卸操作。這種設置支持大量的基材和材料，包括有機光致抗蝕劑、硬烤抗蝕劑、聚酰亞胺和金屬。可以使用特定信息對樣本進行預編程,例如濺射參數、模式大小、過程時間和過程順序。該資產設計用於矽基材料和非矽基材料的高性能蝕刻和清洗。它配備了節流控制閥，允許多種氣體的輸送和壓力、流量、溫度、功率等參數的選擇。過程變量可以調整到最小的分數，以達到最大產量和性能。此外,S-314還包括一個操作員友好的用戶界面,可方便地訪問所有模型函數。此外,POLYFLOW S-314還配備了動態隔離設備以減少過程引起的汙染,並內置了一套安全功能以提高可靠性。系統的壓力、真空、溫度等參數在直觀的控制面板上實時監控，以確保最佳性能。由於模塊化設計,該單元還設計用於低維護和部件更換（如果需要）。總體而言，S-314是一個高級蝕刻器/asher設計用於微加工過程。其智能設計使其成為高效可靠的機器，以最小的維護程度對不同材料進行高精度蝕刻和清洗。