二手 PSC DES-106-254A #9390540 待售

PSC DES-106-254A Etcher/Asher是一款高性能的自動精密設備，專門設計用於幹蝕刻、灰化、反應性離子蝕刻（RIE）和多種材料的表面清潔。該系統能夠在從外部環境溫度到高達400°C的溫度範圍內運行,非常適合材料去除操作。DES-106-254A使用一系列不同的氣體混合物提供精確的低溫等離子體蝕刻和灰化。PSC DES-106-254A Etcher/Asher具有50.9厘米（20英寸）的八角形加工室和負載鎖。腔室由高質量的不銹鋼制成，以確保最大程度的耐用性，並防止腔室部件的腐蝕。該單元具有處理4英寸晶片的能力，包括一臺自動化的物料處理機，以最大限度地提高生產率。該工具的獨特設計確保等離子體在空間上保持均勻，以確保在每個晶片上有可重復的蝕刻/灰化率。DES-106-254A Etcher/Asher的用途非常廣泛,允許進行各種蝕刻/灰化過程。這包括高密度等離子體過程（蝕刻器/asher）到反應性離子蝕刻和深孔蝕刻操作。該資產可以容納各種不同的蝕刻氣體，並能夠進行高端修剪應用。此外,該模型還包括一些其它RF和DC模塊的實用程序連接,以便能夠執行更多種類的蝕刻/灰化操作。該設備采用了最先進的圖形用戶界面，便於操作和監控，即使對於最復雜的蝕刻過程也是如此。該系統還具有若幹安全功能，包括真空互鎖、壓力和氧氣報警器、壓力和溫度傳感器，以防止設備的不必要操作。總體而言,PSC DES-106-254A Etcher/Asher是用於蝕刻、灰化和其他材料去除操作的理想機器。它具有獨特的功能、通用的應用程序功能和先進的安全系統,即使是最苛刻的流程也能提供可靠性和性能。