二手 PSC DES 211-304 #9276071 待售
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ID: 9276071
Etcher / Asher
Chamber
(50) Manual quartz boat loadings
PLS Controller
Touch panel
MKS 153 APC Controller
EDWARDS QDP80 Dry Pump
(2) Gases: O2, Ar
ENI OEM 12 RF Generator: 1.2KW
Utility:
Power supply: 208 V, 3 Phase
PSC DES 211-304是一種用於半導體光刻的蝕刻器/asher。這種設備利用物理和化學工藝相結合,在光刻生產中蝕刻或粉刷(去除或改變)半導體材料的特定區域。DES 211-304涉及生產電子器件時所使用的光刻步驟,例如電腦晶片,在製造上已經變得日益重要。PSC DES 211-304具有直接驅動雙葉片、全自動蝕刻或灰室,載荷面積600mm x 600mm,可編程X-Y級。直接驅動設備為刀片運動提供精確的驅動力,確保半導體材料的精確蝕刻/灰化。該單元還包括一個Ashee晶片支架和額外的蝕刻和灰化配件。這些配件以及自動化系統的使用使半導體材料能夠實現自動化、高效的蝕刻/粉刷。DES 211-304的asher腔室利用腔室溫度控制器,以確保腔室內相同程度的溫度和壓力。這有助於確保在生產過程中對半導體材料進行精確的蝕刻/灰化。設備還配備了多通道計算機控制單元,可以精確控制蝕刻室或灰室中每個獨立操作的參數。PSC DES 211-304的設計符合最高安全標準,具有互鎖系統和安全警報燈/警報功能。它還包括一個排氣管,帶有廢舊化學品的釋放口,以確保在任何人員進入附近之前安全清除有害的煙霧或蒸氣。總之,DES 211-304是一種用於半導體光刻的高效、精確、安全的蝕刻器/asher。其特點,包括自動化機器、腔室溫度控制器、安全系統及配件,使其成為生產高品質半導體材料元件的理想之選。
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