二手 PSC DES-212-304AVL #9097138 待售

PSC DES-212-304AVL
ID: 9097138
晶圓大小: 6"
Stripper, 6".
PSC DES-212-304AVL是Etcher/Asher。它是一種利用反應性離子蝕刻和化學蝕刻工藝的減法蝕刻系統。它專門設計用來蝕刻2「至8」的晶片尺寸,最多4個腔室。這種蝕刻器幾乎能夠在半導體基板上產生任何形狀、層圖樣或輪廓,包括印刷電路板、LED和高頻/微波設備。PSC DES-212-304-AVL蝕刻器具有多種功能,包括RF和DC偏置、化學和反應性離子蝕刻以及激光處理。每個腔室為兩個腔室獨立控制,並配有電源、射頻匹配網絡以及直流和射頻開關。此外,每個腔室都配有高真空石英晶體監視器,用於精確的腔室環境控制。它還具有可變壓力QCM控制器,實時繪制QCM頻移圖,可實現精確的實時蝕刻控制。此外,DES-212-304AVL還配備了一個可編程的微處理器控制的氣體盒,最多可容納10種氣體。該蝕刻器能夠支持各種蝕刻化學方法,包括氯、銨、硝酸鹽、有機鹵化物和更高的化學種類。先進的帶有真空夾緊閥的氣體柔性控制系統,為各種工藝提供了可靠、高性能的蝕刻。DES-212-304-AVL是各種應用的理想蝕刻器。它能夠精確、精確地刻蝕具有均勻深度控制的小而復雜的特征。它特別能夠產生復雜的圖樣、平面化和深層輪廓,以及在半導體基板上精確的光刻再造。它還具有很高的可重復性和可靠性,使其成為生產使用的絕佳選擇。
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