二手 PSC DES-212-304AVL #9273101 待售

PSC DES-212-304AVL是一種用於生產先進電子材料的蝕刻/灰化設備。它是一個交鑰匙系統，包括一個Alcoa型加工室、多用途PECVD氣體輸送裝置、多個負載鎖定系統、一個氧化物-FET預敏基板預清潔室和一個300毫米盒式到盒式加工機。此臺式機蝕刻器采用開放式體系結構,可輕松集成現有或其他流程。該工具適用於任何涉及抗蝕蝕、化學或熱灰泥的工藝，包括去粉、剝離、沈積以及合金化、混合和混合組合物。該蝕刻器配備了兩個低溫冷卻的電子束源-一個專用於抗蝕劑去除,另一個用於表面制備。Alcoa型加工室為蝕刻和灰化提供了理想的環境。該腔室設計有不銹鋼內腔加上石英外壁，不透氣，同時允許短波紅外輻射的有效傳輸。該腔室還在加工區設有陶瓷加熱器，確保獨立的溫度控制和整個腔室均勻的射頻供電。PECVD氣體輸送資產為用戶提供了一種有效、準確的方法來控制蝕刻大氣的組成、離子和熱特性。該模型可以分批或連續模式操作，對包括O2、N2、Ar在內的各種氣體和材料進行精確控制。氧化物-FET柵極預敏感基板預清潔室提供了一種在蝕刻前從基板上去除有機層和其他汙染物的有效和可靠的方法。PSC DES-212-304-AVL提供了一個完整的300毫米盒式磁帶到盒式磁帶處理設備，用於晶圓清洗、幹燥和蝕刻。處理系統采用六站輸送機，確保高效裝卸。該室設有氣溶膠防護罩，以保護用戶和晶片免受吸入。該單元進一步可定制，包括葉片處理、刀具處理、真空板夾緊等多種晶片處理選項。總體而言,DES-212-304AVL是一款功能強大、高效的臺式機蝕刻器,非常適合制造幹凈、優質的電子元件。此單元為用戶提供了蝕刻和灰化應用程序的靈活性和多功能性,同時提供了最可靠的性能。