二手 PSC DES-212 #9028317 待售

PSC DES-212是一種用於物理處理的蝕刻/粉碎機設備,可提供納米範圍內的高生產率。它由一個雙蝕刻/asher單元提供動力,該單元可縮短周期時間,並具有高級控制功能,以提高流程的可重復性。它具有高功率、14kW的射頻發生器,具有仔細的阻抗和脈沖控制功能.DES-212是一個通用的系統，能夠處理各種材料，從聚合物到半導體晶圓。較大的加工面積允許大批量處理和高吞吐量。該單元具有雙單元蝕刻和灰化功能,在同一臺機器中提供蝕刻和清潔功能。蝕刻過程使用高功率射頻發生器產生能量場，引起晶圓材料中的化學反應，逐層去除材料。清洗過程使用氧氣等離子體從晶片表面去除有機和金屬汙染物。PSC DES-212是一種計算機控制工具,配備了功能強大的過程控制器,以及用於控制操作（如端點檢測、材料修剪和返工、資產監控和數據分析）的軟件。它支持包括溫度、壓力、氣流、功率和等離子體生成在內的一系列工藝參數。由於設備編程中的高級控制和反饋循環，該模型能夠獲得高度精確和可重復的結果。該系統有一個內置的配方創建者和庫，允許定制配方以及用於流行蝕刻過程的預編程工藝配方。DES-212提供了多種集成的安全功能,包括閉環控制單元、雙級氣體功能以及額外的非氣體洗滌器。該機器設計用於安全、高效的操作,能夠監控多個流程參數和日誌數據,供以後查看。PSC DES-212是一種可靠、易於使用的蝕刻/asher工具,可提供高度精確的結果,並可根據各個流程需求進行定制。它是任何實驗室的一項成本效益高的資產，為微量和納米的蝕刻和清潔任務提供了一個極好的平臺。