二手 PSC DES-212 #9028318 待售

PSC DES-212是為滿足晶片基板上高精度微結構的需要而設計的一種蝕刻器/粉碎器設備。該系統的主要應用是在半導體加工領域。DES-212單元是一個全自動的x-y-z表級,具有機械化的精密操縱器,使用戶能夠精確定位晶圓和掩碼以進行蝕刻/灰化過程。它也可用於激光劃線等直接寫入應用，允許修復和移除。機器200 mm x 200 mm x 15mm的x-y-z級行進運動範圍能夠容納直徑達6英寸的基板,並放置了三腳架,以便所有樣品都可以與加工刀具對齊。XY和Z運動平滑,即使有靜態載荷,同時保持高達2 µm的分辨率水平。蝕刻器/asher工具旨在支持各種流程；深反應離子蝕刻（DRIE），感應耦合等離子體蝕刻（ICP），濕蝕刻，薄膜沈積，濺射，氧化，沈積和抵抗帶。該資產能夠在包括矽、藍寶石、石英和鋁在內的最困難的基板上進行蝕刻/灰化。該模型具有基於庫的過程控制設備,用於編程蝕刻/灰化過程參數,以及配方創建和系統診斷。它還允許多個晶片選擇和處理，以及溫度控制、壓力控制、定時和聯網選項，使設備能夠與其他設備處理工具進行通信。PSC DES-212具有安全功能,如緊急斷電開關和互鎖,可保護機器免受過度加壓和短路的影響,以及用於操作員安全的鍵盤保護。該工具的設計考慮到了用戶，通過無障礙的前面板提供快速的維護和校準。該資產被廣泛應用於織物和研究設施中，以進行高精度的蝕刻/灰化過程，並取得可靠的結果。作為一個先進的asher/Etcher,它符合當前的微型結構行業標準,它提供的多功能性為用戶提供了一系列可能性。