二手 PSC DES-212 #9198273 待售

PSC DES-212 蝕刻器/asher是一種全自動的等離子體蝕刻器/asher設備,旨在提供精確、可靠、可重復的等離子體蝕刻和灰化操作。該系統結合了實現高吞吐量和卓越生產力所必需的集成硬件、軟件和服務。通用靈活的DES-212單元融合了人性化的圖形用戶界面、獨特的算法和強大的硬件，以滿足高級蝕刻和灰化應用的要求。機器可以使用可選的高壓電源,提供高達30kV的電源。該工具包括基於集成PFPE的蝕刻/灰化室、蝕刻氣體分配資產、高速氣體切換組件、遠程等離子體源和集成氣體排氣模型。該腔室提供低溫敏感性和特殊蝕刻均勻性的均勻氣氛。腔室具有處理各種基材的大範圍。該腔室設計方便維護，設有可移動腔室窗和可移動門，用於裝載和卸載基板。設備的遠程等離子體源提供超低背景汙染和過程中的最高選擇性。許多廣泛的參數管理功能使用戶能夠優化蝕刻過程。蝕刻器/asher具有多種功能,使其成為功能強大、高效且可靠的系統。該單元包括實時、用戶可編程的蝕刻速率和蝕刻時間控制，允許用戶隨著工藝需求的變化調整蝕刻速率和參數。控制面板易於訪問,提供了對機器參數的全面控制,並易於選擇配方。該工具還包括一個集成的射頻功率/匹配資產,用於精確優化和出色的蝕刻/灰化操作重復性。PSC DES-212是為無與倫比的全面安全而設計的,具有UL、CE和RoHS的安全認證。該模型還具有可移動基板、自動除塵和低基板載荷等特點。此外，該設備還包括一個集成的熱成像子系統，以允許自動溫度控制。該單元還可以與外部源集成在一起，直接在基板上打印蝕刻圖案。DES-212是為滿足當今最精確的蝕刻/研磨工藝的要求而開發的一種特殊的蝕刻/研磨機。該工具的靈活性和功能提供了卓越的精度、可重復性和高吞吐量能力,以滿足苛刻的蝕刻要求。