二手 PSC DES-220-459-AVL #293829996 待售

PSC DES-220-459-AVL是幹式蝕刻器/灰化器。它是一種同時適用於研發和生產應用的等離子體蝕刻設備。它有能力對各種材料進行極高質量的蝕刻，包括矽、聚酰亞胺、金屬和鈍化氧化物。它是工藝開發和先進元件生產的經濟高效的主力軍。DES-220-459-AVL為蝕刻和沈積提供了高效可靠的工藝。它配備了高功率的射頻和直流等離子體源，使其能夠為多種材料提供高質量的蝕刻工藝。蝕刻過程極為精確，利用2至32 MHz的可調射頻頻率範圍和高達100瓦的射頻功率。該系統還提供高離子通量和低表面損傷。該設備提供多種工藝控制設置,包括壓力（0.5-1.2 Torr）和溫度（室溫-200 °C）。壓力控制允許機器針對每一個應用進行定制，提供準確的過程結果。這允許在不同的工藝條件下進行工藝優化。此外,可用的可變功率範圍選項還進一步增強了工藝一致性。PSC DES-220-459-AVL提供了出色和可重復的結果,其工藝室提供了均勻的氣體分布.高通量氣體分配提供了極快的處理時間而不犧牲精度。此外,該工具的高級診斷和分析工具能夠快速、輕松、準確地識別和調整異常。資產的高級控制單元易於使用，允許實時的過程監控。此外,該軟件包還提供了一個完整的流程庫,可以快速輕松地設置新流程,而無需從頭開始重做每一步。該模型也具有很高的靈活性，有多種蝕刻工藝可供選擇。總體而言,DES-220-459-AVL是一個非常堅固可靠的蝕刻器/蝕刻器。其高效的工藝為各種材料提供卓越的精度。其先進的設計使其成為最苛刻的應用程序的經濟高效且可靠的主力軍。