二手 PSC DES-304 #293616016 待售

PSC DES-304是為表面處理和高精度蝕刻應用而設計的最先進的蝕刻/asher設備。它是一種兩區高真空系統，設計用於等離子體蝕刻、化學蝕刻、濕蝕刻、催化劑蝕刻、深蝕刻、反應性離子蝕刻、灰化、幹蝕刻等多種工藝。該機組設有石英工藝室和高真空泵機。這種低維護的工具提供了可靠和一致的蝕刻過程。資產包括304-1射頻發電機、至多兩區真空系統，範圍從6個「深平臺至28」深、兩區真空蝕刻系統、兩區ashing系統、兩區抵抗去除系統。它具有帶有2英寸（50.8）石英窗口的工藝室，以及可用於蝕刻速率和陽極電流控制的集成工藝控制器。DES-304還具有自動調頻功能,允許更輕松、更可靠的過程。304-1射頻發電機可為工藝室提供高達400W的功率。它有兩種型號：低功耗0-20W和高功率（0-400W）。它還配備了一個單獨的60kV直流電源，用於在蝕刻過程中使基板偏置。該模型還在腔室的每一側包括一個45°CW的遠程查看端口,允許在保持過程完整性的同時直接查看樣品。該設備允許直接控制蝕刻速率，與氟氣、氯氣、氮氣、氧氣、氫氣等各種工藝氣體兼容。它還具有特殊工藝，如深度蝕刻和反應性離子蝕刻，並具有可選的手動可調註射角，以更好地控制工藝。該系統還具有循環冷卻回路,可在更長的蝕刻過程中保持組件冷卻。PSC DES-304是為高精度蝕刻和表面處理應用而設計的先進蝕刻和灰化裝置。它具有兩區機和低維護，可靠的過程操作。該工具提供各種工藝功能，如蝕刻、深蝕刻、反應性離子蝕刻和灰化，以及直接工藝控制蝕刻速率和陽極電流。DES-304具有豐富的功能,是一種適合各種蝕刻和灰化要求的多功能資產。