二手 PSI HEXODE MPT-HEX-1 #77366 待售

ID: 77366
晶圓大小: 3"
Etcher, set up for 24- 3" wafers, 22" x 30" H, ss jar programmers, Vacuum general mass flow controllers, 3 kW RF plasma supply, without vacuum system.
PSI HEXODE MPT-HEX-1是一種工業蝕刻和灰化工藝,用於去除各種基材中不需要的有機材料。它是一種多用途、大容量的asher/etcher,能夠同時處理多達6種不同的底物。600W的射頻功率和廣泛的氣體混合物和壓力,MPT-HEX-1使得可靠的,可重復蝕刻和灰化的結果。它采用受控的熱剖面設計,以確保整個真空室的加熱和冷卻速率均勻。其最先進的數字處理器提供對工藝參數的精確工程控制。PSI HEXODE MPT-HEX-1具有先進的數字直流和射頻電源,具有監控、調節和調節功能,能夠精確控制蝕刻和灰化過程。其專利的多室設計和大型真空室確保了均勻的基板溫度,並允許同時裝載多達6種形狀和大小的基板。這樣可以顯著縮短處理時間,從而提高效率和提高吞吐量。該系統還包括各種耐用的工程級耗材和配件,以實現最佳的工藝性能。其精密的氣體混合物控制使操作成本最小化,而內部氣旋過濾器則有助於最小化顆粒物汙染。此外,它還允許在應力和溫度梯度方面具有很高的公差,使其適合敏感材料加工。該系統還提供了與各種介質的各種兼容性,允許用戶處理各種基材。MPT-HEX-1是高容量、精密蝕刻或灰化操作的絕佳選擇。PSI HEXODE MPT-HEX-1具有先進的數字處理器、堅固的結構和廣泛的基板兼容性,是一款可靠、高效、經濟高效的工業蝕刻器和粉碎機。
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