二手PSM(蝕刻機/ 光阻清洗機)待售
PSM制造的蝕刻器/灰燼是半導體工業中用於等離子體蝕刻工藝的通用且高效的工具。這些蝕刻器/灰燼的設計目的是從半導體晶片或其他基板中去除材料,以創建所需的圖樣和結構。PSM蝕刻器/分貝器的主要優點之一是能夠提供精確和均勻的蝕刻結果。這是通過先進的工藝控制技術實現的,該技術確保了整個工藝過程中對蝕刻參數的精確控制和維護。PSM 蝕刻器/ashers還提供出色的蝕刻選擇性,允許高分辨率陣列。PSM提供了一系列不同腔室大小和配置的蝕刻器/asher模型,以滿足半導體制造商的具體需求。等離子體模塊是利用等離子體技術進行蝕刻過程的PSM 蝕刻器/asher的一個例子。等離子體模塊提供快速高效的蝕刻,實現了高長寬比和優異的均勻性。另一個例子是等離子體增強型化學氣相沈積(PECVD)模塊,它結合了蝕刻和沈積能力。該模塊允許薄膜沈積,同時蝕刻基板,使其適用於介電和金屬層沈積等應用。總體而言,PSM蝕刻器/分離器為半導體制造商的等離子體蝕刻工藝提供了可靠和精確的工具,在工藝控制、選擇性和多功能性方面提供了優勢。
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