二手 PVA 1000 #293804896 待售

PVA 1000是一種用途廣泛的蝕刻/asher設備，設計用於各種工業和研究應用中的各種材料的精確和受控等離子體處理。它提供先進的特性和功能,以滿足當今半導體、微電子、光學和生物技術行業的苛刻要求。1000系統的核心是一個產生高反應性等離子體的高性能等離子體源，由離子、自由基和其他物種組成，用來修改材料的表面性質。該等離子體可在各種氣體化學中操作，包括氧氣、氮氣、氙氣、氫氣和其他反應性氣體，根據特定的材料性質和工藝要求量身定制等離子體處理。PVA 1000單元具有堅固的真空室,該真空室由不銹鋼或鋁等優質材料制成,可確保清潔、無汙染的加工環境。腔室設有多個進氣口、真空泵送、樣品裝載，以及等離子體過程實時監測的檢視窗口。1000機的關鍵部件之一是射頻（RF）電源，用於產生和控制等離子體源中的等離子體放電。射頻電源提供穩定可靠的電力輸送，以維持等離子體過程的長時間運行，確保一致和可重現的結果。PVA 1000工具還具有先進的流程控制資產，允許用戶精確調整和監控關鍵流程參數，如氣體流量、運行壓力、RF功率水平和處理時間等。這樣可以對等離子體處理過程進行微調,以達到所需的材料修改效果,如表面清潔、蝕刻、激活或功能化。除了精確的過程控制功能外,1000型號還提供一系列用戶友好的功能,以增強操作和維護的簡便性。其中包括用於設備控制和數據記錄的直觀觸摸屏接口、用於輕松設置和執行常規程序的自動化流程配方、用於保護操作員和設備的安全聯鎖和警報,以及用於故障排除和支持的遠程監控和診斷。PVA 1000系統用途廣泛,可容納各種樣本量和形狀,從小型晶片基板到大型平板或3D組件不等。適用於多個樣品同時批量加工或高通量、高效的單樣處理。總體而言,1000 蝕刻器/asher單元是先進的等離子體處理應用平臺,為各種材料和行業提供精確、可靠和多功能性。憑借其先進的特點和人性化的設計，PVA 1000機器是研發、質量控制以及需要受控表面改造和處理的生產工藝的寶貴工具。