二手 PVA 350 #9198731 待售

PVA 350是為高通量處理而設計的蝕刻和灰化設備。它用於半導體工業，在制造這些器件的過程中從晶片中去除有機材料和汙染物薄膜。350系統使用感應耦合等離子體（ICP）生成原子粒子,這些粒子與正在處理的晶圓表面相互作用並去除材料。這種ICP技術是現有最精確的蝕刻/灰化工藝之一，提供了高度的準確性、可重復性和均勻性。PVA 350單元還配備了多項功能,使其特別方便用戶。這些特點包括自動通路、用於精確晶圓識別的數字OCR、ICP機器的精確功率控制、先進的真空控制工具以及可靠而健壯的控制資產。350可以從晶片表面到幾個埃的深度蝕刻材料，使其成為晶片制造的理想工具。它還能夠生成高分辨率圖像，使其成為計量和檢查的絕佳選擇。該型號可以同時容納8英寸和12英寸晶圓，並且可以與多種現有系統集成。它還提供室內清潔和遠程診斷,使其易於維護和操作。總體而言,PVA 350是一種可靠且用途廣泛的蝕刻和灰化設備。其ICP技術確保了準確和可重復的結果，而用戶友好的功能使得它很容易使用。對於任何半導體制造應用來說，350都是絕佳的選擇。