二手 PVA 650 #293804324 待售

PVA 650是由高精度射頻（RF）動力技術的全球領先者Plasma-Therm開發的蝕刻器/asher。它是為各種基材而設計的。650最適合於尺寸從單模到全晶圓的基材,並且已針對前端線（FEOL）和後端線（BEOL）工藝進行了優化。PVA 650是一種中型微蝕刻設備，其腔室尺寸為51.2 in x 51.2 in x 43 in （LxWxH）。先進的真空系統、不銹鋼和陶瓷材料制成的腔室以及內置的觸摸屏控件使其成為各種蝕刻和灰化應用的最佳選擇。該機組典型的底壓額定值為6 x 10-7 Torr，其技術使其能夠維持較高的工藝溫度（最高540°C）。650利用感應耦合射頻技術為高度受控、高效的蝕刻和灰化過程生成等離子體環境。它使用熱陰極和「冷」質流控制器來提供對等離子體和蝕刻氣體的精確控制。PVA 650還配備了雙極電源單元，使其能夠產生獨立的正負功率水平，以幫助蝕刻應用。650的先進功能使它能夠提供出色的過程控制和可重復性。機器的可編程淋浴頭可以用來提供完整的覆蓋甚至復雜的基板。其旋轉電極調節射頻電場和脈沖功率，以精確匹配蝕刻速率。PVA 650還具有自動填充功能,允許最少的操作員交互,並為擴展運行提供不間斷的蝕刻和灰化操作,周期時間從30秒到幾個小時不等,具體取決於所需的進程類型。650也是為長期運行和性能而建。該工具是為嚴密的尺寸穩定性而設計的，並利用新興的安全特性，如氮氣凈化資產、先進的鎖和操作人員安全的快速打開艙門。總體而言,PVA 650是各種蝕刻和灰化應用的絕佳選擇。其先進的特性、強大的技術和確保的過程可重復性使其成為那些需要精確的過程控制和長期可靠性的人的理想選擇。