二手 PVA 650 #293804887 待售
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PVA 650是一種蝕刻器/灰化器，用於光刻和樣品制備應用。它是一種電動、全自動化的設備，專門為各向異性蝕刻矽和砷化的半導體材料而設計。650系統提供快速、精確的晶片和模具蝕刻，具有極好的均勻性和可重復性。PVA 650利用主動偏置增強等離子體技術進行蝕刻，產生極好的蝕刻速率和可控輪廓，對樣品的損害最小。它有一個石英工藝室，使樣品的加熱和冷卻均勻。還可以安裝一個負載鎖定單元，將樣品帶入加工室。控制器會根據需要自動調整參數，如溫度、壓力、流量和其他工藝參數。650還包括先進的軟件，使用戶能夠自動化晶圓處理，以及與其他系統集成和互連。該軟件還具有流程控制、配方管理、監控、數據采集和報告功能。通過使用軟件，用戶還可以根據使用情況跟蹤他們的流程歷史記錄和修改配方。總體而言,PVA 650為蝕刻和樣品制備應用程序提供了高吞吐量、卓越性能和更高的生產率。它是一個強大的，靈活的機器，可以提供最好的結果與最小的維護。它具有用戶友好的界面和自動化功能，適用於研究和工業環境。
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