二手 PVA 650 #293804893 待售
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PVA 650是為微芯片和其他半導體元件的精確蝕刻或灰化而設計的蝕刻/灰化設備。它利用高功率激光以最小的誤差創建精確的蝕刻標記。它能夠精確蝕刻,最高精度可達5um,深度可達10um。該系統還能夠達到更高的功率值而不會損壞晶圓。激光由高效的自動透鏡光學器件引導,給用戶精確控制蝕刻的速度和矢量。此外,用戶還可以調整焦點和能量設置,以精確蝕刻不同的深度和角度,從而實現各種形狀和大小的高精度。650裝有溫度感測單元,可以在蝕刻和灰化過程中精確控制溫度。這意味著蝕刻過程能夠以最高的精確度進行,產生更好的結果並減少缺陷。此外,通過使用高功率的氮氣淋浴,機器能夠在蝕刻過程中降低晶圓損壞的風險。PVA 650還配備了多項安全功能,如為確保操作員的安全而設置的燈簾和用於超載保護的基於激光的可聽警報。所有這些特點,加上廣泛的蝕刻參數,使得650成為一個可靠和精確的工具,用於微電子元件的蝕刻或灰化。
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