二手 PVA 650 #293804897 待售
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PVA 650是來自PVA Systems, Inc.的下一代等離子體蝕刻/灰燼設備,設計用於高密度微電子制造過程。它能夠進行蝕刻和灰分處理,從而能夠以受控的精度從基板上選擇性去除一層材料,如金屬、聚合物和電介質。650具有強大的源氣體輸送系統,能夠很好地控制過程壓力和蝕刻/灰分速率,使用戶能夠獲得所需的精度。蝕刻/灰燼單元裝有氣動操作蓋,使操作員可以手動調整工藝參數或快速、輕松地進行多種測試分析。PVA 650是低溫試驗和試驗的絕佳選擇,其集成的冷板能夠達到-100°C的低溫,同時保持較高的冷卻速率。該機還包括集成微處理器、優化蝕刻程序以及實時顯示最新流程讀數的過程控制器等幾個高級控制功能。控制器使用戶能夠調整過程條件,包括氣體成分、壓力和蝕刻/灰分速率,確保每個過程的高精度結果。650的設計提供了無與倫比的過程可靠性和效率。利用其自動壓力和真空控制,整個蝕刻/灰分工藝是可調的,所有對成功蝕刻和灰分至關重要的參數都進行監控和維護。此外,該工具還配備了最先進的安全功能,如果資產溫度升高到可接受的水平以上,則會警告用戶,從而消除損壞基板或部件的風險。總體而言,PVA 650是為金屬、聚合物和電介質的高精度蝕刻和灰分加工而設計的先進蝕刻/灰分模型。650通過其集成的高級控制功能和卓越的工藝可靠性,為用戶提供了達到最高級別性能和準確性的能力。
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