二手 PVA 650 #293804899 待售
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單擊可縮放
ID: 293804899
優質的: 2012
Conformal coating machine
Brushless DC Servo motor
Work area: 500 mm x 500 mm x 100 mm (19.68" x 19.68" x 3.94")
Travel speed: 0 to 700 mm/sec (0 to 27.6 in/sec)
Repeatability: 0.025 mm (0.001)
Resolution: 0.015 mm (0.0006)
Air requirements: 80 psi
Conveyor speed: Up to 80 ft/min (24.4 m/min)
Operator interface: LCD Screen with function keys
Conveyor process flow:
Programable right to left / left to right
Power supply: 120V, 220 V, +/-10%, 50-60 Hz
2012 vintage.
PVA 650是設計用於半導體加工的先進蝕刻器和asher。它具有強大的上遊氣體輸送設備和高精度、低燒蝕等離子體室。蝕刻室可以處理各種各樣的溫度、壓力和蝕刻化學，使其適用於一系列的半導體應用。650的隔離等離子體腔設計用於氣體流動、壓力和溫度的長期穩定，提供了高度可靠的蝕刻工藝。為確保對蝕刻參數的精確控制，PVA 650包括可選的實時壓力和溫度控制。上遊氣體輸送系統能夠同時混合多達五種工藝氣體，從而可以采用各種各樣的蝕刻化學方法。利用650的專利晶體蝕刻技術，可以達到高達500納米的蝕刻深度。PVA 650的均勻性是其最大的強度，因為它最大限度地減少了微缺陷並產生一貫的高質量結果。整體單元使用方便，維護最少，適合大批量生產。兩個直觀的觸摸屏使設置過程參數變得容易。該機還與標準真空系統兼容，進一步降低了維護成本。在可能的情況下，650會自動優化蝕刻參數，從而使操作員擺脫繁瑣的人工計算。PVA 650與可比幹蝕刻器相比速度優越，高端蝕刻速率為每分鐘70納米，吞吐量為每小時35晶圓。這一高吞吐量加上可靠的蝕刻結果，使得650成為當今半導體應用市場上最合適的蝕刻和asher工具之一。
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