二手 PVA 650 #293805825 待售

PVA 650是由Paul V. Anderson製造的蝕刻器/asher。該設備專為需要晶圓和基材精密蝕刻/灰化的應用而設計。650適用於半導體器件生產、研發、試驗、校準、生產線過程控制。PVA 650是一種兩室設備，一室用於蝕刻，另一室用於灰化。蝕刻室設有四個石英噴頭，總流量為每分鐘9立方英尺（CFM）的蝕刻氣體，分別為0.75%氟龍-CF ² -4（CFC14）和99.25%的幹氮（N ²）。灰室設有兩個石英淋浴頭，總流量為1 CFM氮和2 CFM氧氣。650的溫度控制系統具有熱反饋回路,可確保蝕刻/灰化室的高溫穩定性。PVA 650的單元還具有高科技的可編程邏輯控制器（PLC），具有直觀的用戶控制和先進的熱保護功能。PLC使用戶能夠控制蝕刻/灰化過程參數,包括時間、溫度、流速和壓力。該機還包括一個內置的計算機監視器和用戶界面，用於工具的一鍵式控制和設置的手動控制。650的結構堅固可靠，主要由不銹鋼和特氟龍構成。蝕刻/灰化室的設計可承受高達PVA 650°攝氏度（華氏1202°）的溫度，以及高壓和真空。650標配以下配件：電源、壓力傳感器、溫度傳感器、氣流控制閥、1/4"鎖緊扳手、PVA-PVA 650 PLC集成計算機資產。650旨在滿足各種需求，在各種半導體器件中提供精確的蝕刻和化學氣相沈積。適用於加工薄晶片、基材等微結構。此可靠模型旨在實現可重復的過程、卓越的蝕刻、灰化和CVD性能、低擁有成本和高吞吐量。