二手 PVA 650 #293828062 待售
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PVA 650是一種蝕刻設備,利用反應性氣體和基於等離子體的幹蝕刻技術,在多種基材上創建高質量的蝕刻微結構和電路。這種蝕刻裝置采用針頭、電極和兩種電介質形式的四個平行電極,可微調,用於電壓和氣流控制。針頭電極用於聚焦電壓施加產生的電弧,並確定發生底物離子轟擊的局部電流密度。大電極和兩種電介質然後提供適當氣體的原位電離,並有助於確保形成連續的自由線表面。650的工作原理是在其頂部和底部電極上施加一定電壓和可選氣體,形成高溫電弧。這種電弧使基板汽化,以所需的形狀蝕刻。氣體在電弧中被電離,被電場加速向樣品,產生物理濺射過程。整個過程產生低濺射速率和原子水平的可控性,這反過來又促進了對被蝕刻基板的最小損害。另外,PVA 650蝕刻器可以處理各種基材,包括金屬化矽片、金屬箔和玻璃。這些基板也是介電樣品,並允許更好的蝕刻選擇性。使用650蝕刻器的主要優點是具有高度的控制、穩定性和可重復性。通過可調電源、電極傳播的精確速度以及易於調節的廢水輸送,系統以可重復的方式產生高質量的幹刻。此外,利用氣體分析儀的反饋或原位紅外吸收光譜,可以實時監測和調整蝕刻工藝,方便地對工藝進行精確調整以改進蝕刻。總之,PVA 650蝕刻器是尋求一種具有精確控制和卓越性能的可靠蝕刻系統的理想選擇。由於其精確度高、可重復性高、蝕刻深度大,適合應用研究項目和標準生產要求。它能夠在各種基材上生產高質量的蝕刻件,使其成為一種用途廣泛且經濟高效的解決方案,可以滿足任何類型的高精度蝕刻需求。
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