二手 PVA 650 #9266554 待售
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單擊可縮放
ID: 9266554
優質的: 2008
Conformal coating machine
3-Axis gantry style robot work cell
Intended for dispensing / Application
Conformal coating / Liquids
(2) Dispensing heads
Work area: 18" x 18" x 4"
Repeatability: 0.001"
3-Axis servo motors
Silicone rubber application machine
Computer programming / Control
THK SKR33 Series precision XYZ linear motion
And modules with servo motors
THK HR20 Linear motion guides X and Y axes
Galil motion controller
Open-center edge belt conveyor, 43" (Side-to-side)
Pneumatic stops conveyor
SMEMA Conveyor communications
Compressed air
Computer hard drive missing
Power: 208 VAC, Single phase
2008 vintage.
PVA 650是一種先進的反應性離子蝕刻（RIE）系統，設計用於各種材料的沈積和蝕刻，包括金屬、陶瓷和半導體。650是一款經濟高效、高度自動化的蝕刻器/asher,具有高精度對齊、高達500 mm/秒的閃亮速度,即使對於復雜的幾何形狀也能獲得可靠的結果。它采用了最先進的反應性離子束蝕刻（RIBE）技術，產生了可控和高度可重復的蝕刻和沈積結果。PVA 650堅固的設計消除了對外部顆粒過濾器的需求，使其維護操作低下，無需頻繁維護或清理。其高端自動化功能可在多個方向上實現可靠和準確的處理,包括垂直、角度和自對齊操作。650配備了創新的觸摸屏界面和先進的軟件算法，以其先進的功能確保重復的準確性。其高速全軸運動驅動蝕刻沈積過程，最大精度為0.01 μ m。PVA 650還具有閉環控制、空白循環/間隙循環、目標形狀/尺寸過程監測、冷壁/熱壁積液和基板溫度控制等先進的工藝控制功能，可實現更高質量的沈積和蝕刻。該系統由不銹鋼、鋁和特殊鑄鋁制成，其框架和固定裝置均具有優異的耐用性和耐腐蝕性。它旨在滿足嚴格的安全要求，並提供更高水平的用戶安全。650與多種材料兼容，包括石英、玻璃和感光膜，能夠加工6「和8」基板。它還提供了優越的晶體品質和精細復雜的圖樣在其蝕刻和沈積結果，使其成為一個頂級的線系統的各種應用。
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