二手 PVA 650 #9400631 待售

PVA 650是用於制造微電子器件的等離子體蝕刻器/灰化器。它是一款高性能、技術先進的蝕刻器/asher，旨在滿足半導體行業的要求。650由不銹鋼室構成，設計為在整個工作區域提供均勻的等離子體蝕刻或灰化器。它的設計允許垂直蝕刻孔（深度可達3mm），並能蝕刻包括矽、碳化矽、氮化的各類基板。此外，它還能蝕刻鋁、銅、鈦等金屬。PVA 650具有10.4英寸顯示屏和直觀的觸摸屏操作功能,極易使用。它還包括一個12 「x 12」工作區和一個用於快速吞吐量的新型腔室清洗系統。此外，650具有高效的高頻偏置，能夠精確控制底物表面的離子能量。它還提供最高300 °C的高溫工藝能力,可以滿足要求最苛刻的蝕刻和灰化要求。PVA 650具有很高的可靠性和良好的正常運行時間，並設計了安全措施，以確保最佳工作條件。建立了各種互鎖系統，以保護人員和設備。此外,還實施了自動化的流程監控、高級配方和用戶密碼保護,以方便日常操作和流程控制。650是一種多功能設備,可實現廣泛的蝕刻和灰化應用,非常適合多種領域,包括無接觸封裝、MEMS制造、微加工等。此外，這套先進的系統非常適合真正的生產和研究工作，提供高蝕刻速率、精確的等離子體控制和高效的重復性。