二手 PVA TEPLA 300 AL PC #293754137 待售

ID: 293754137
Plasma asher, 6" 2004 vintage.
PVA TEPLA 300 AL PC是一款高性能的蝕刻/asher設備,以其在各種半導體和微電子制造工藝中的先進技術和多功能性而聞名。該設備由PVA TEPLA設計制造,PVA TEPLA是半導體工業等離子系統的領先供應商。300 AL PC配備了最先進的特性和功能,使其成為精確高效的蝕刻和灰化應用的重要工具。該系統以等離子體技術為基礎運行,利用反應性氣體和放電的組合,從基板表面蝕刻或去除有機和無機材料。PVA TEPLA 300 AL PC的一個關鍵特征是其先進的等離子體源,產生了具有卓越均勻性和穩定性的高密度等離子體。這樣可以精確控制蝕刻過程,使設備能夠實現高蝕刻速率和優異的選擇性,同時保持整個基板表面的高均勻性。該機配備了人性化的界面和先進的軟件控制,使操作員能夠輕松編程和調整氣體流量、壓力、功率水平、蝕刻時間等各種工藝參數。這種在過程控制方面的靈活性使300 AL PC能夠適應廣泛的蝕刻和灰化應用,從光致抗蝕劑剝離到材料去除和圖案傳輸。PVA TEPLA 300 AL PC除了具有先進的等離子體源和精確的過程控制功能外,還具有強大的真空室和氣體輸送工具,專為高通量運行和低汙染水平而設計。該資產還配備了安全聯鎖和監測系統,以確保在潔凈室環境中安全可靠運行。300 AL PC適合加工各種基材材料,包括矽、玻璃、陶瓷和有機聚合物。常用於半導體製造、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)製造、研發實驗室等用途,用於晶圓清潔、表面改性、模式轉移等應用。總體而言,PVA TEPLA 300 AL PC是一種用途廣泛且可靠的蝕刻器/asher模型,可為各種基於等離子體的處理應用程序提供高精度、高效率和靈活性。憑借其先進的技術和用戶友好的設計,這種設備是半導體制造商和研究人員尋求在其蝕刻和灰化過程中取得卓越成果的寶貴資產。總而言之,300 AL PC在半導體行業中作為頂級蝕刻/粉碎機設備脫穎而出,將尖端技術與強勁性能相結合,滿足了現代半導體制造工藝的苛刻要求。
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