二手 PVA TEPLA 400 #293821967 待售
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ID: 293821967
優質的: 2006
Microwave plasma system
Runtime: ~8000+ hours
Main unit only
Excluded items: vacuum pump, gas supply system
2006 vintage.
PVA TEPLA 400是由Plasma-Therm開發和生產的蝕刻器和asher。這種技術先進的設備對於需要蝕刻或灰化的各種工藝來說是一種非常寶貴的工具。它被半導體制造、微電子、生命科學研究等行業所使用。400由一個先進的真空處理工具組成,該工具可容納下一代等離子體源、處理器室、源室和微型MFC。等離子體源用於在處理器腔中生成受控的等離子體，而源腔用於生成更強大的等離子體。微型MFC用於控制等離子體。這使得PVA TEPLA 400能夠以環境安全的方式準確地進行蝕刻和灰化過程。400提供精確和可重復結果的能力非常高效。其專利的聲懸浮技術消除了蝕刻劑和加工晶圓之間的接觸，創造了一個非熱環境。這樣可以最大程度地減少晶片上的應力,並確保一致的蝕刻/灰化過程。PVA TEPLA 400還提供了多種旨在確保過程安全和穩定性的功能。其氣體界面控制（GIC）系統確保了優化的射頻功率傳遞，而自動氫氟酸洗滌器則消除了機載蝕刻和灰化殘留物。此外,還內置了400個流程診斷程序,使操作員能夠快速分析和微調流程。PVA TEPLA 400是一款來自Plasma-Therm的精密蝕刻器/asher,可為工藝工程師提供卓越的功能。它確保了精確和可重復的性能,而其高級功能最大限度地提高了安全性和控制力。對於許多需要蝕刻/灰化工藝的行業來說,400肯定是一筆寶貴的資產。
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