二手 PVA TEPLA 400 #9137637 待售

PVA TEPLA 400是由Plasma-Therm公司開發的蝕刻器/asher。該設備是等離子體加工場的一種形式，可用於廣泛的蝕刻和灰分應用。它提供了一個單一的工藝室,可以在組合蝕刻器/灰度器設計中同時滿足蝕刻和灰分的要求,為高級半導體處理提供了經濟高效的解決方案。400使用介電輔助等離子體（DAP）技術，創造了多種等離子體蝕刻和灰分工藝。它能夠蝕刻和粉刷任何東西，從金屬，陶瓷，聚合物和復雜的材料。能夠輕松地在蝕刻和灰化之間進行切換，使系統能夠用於各種過程，包括大馬士革、淺溝隔離（STI）、溝槽隔離結構（TIS）和通過孔。該單元可實現高達每分鐘15微米的高蝕刻速率,用於總特征蝕刻,同時保持1至3微米的精確深度和精度。該腔室的設計提供了20埃的蝕刻控制和超過5%的蝕刻均勻性。載荷端口和腔室設計集成了單晶片配方工藝序列和多晶片能力，以提高吞吐量。它還能夠使腔室穩定,從而獲得最高的晶圓質量和可重復性。PVA TEPLA 400是一種高度可定制的機器,可高效集成到現有生產線中。該工具是為200毫米和小直徑300毫米晶圓而設計的，可以進行改裝，以支持廣泛的分析和診斷要求，包括柔性感應器設計、圓柱形電感設計、多個氣源以及確保均勻性的制圖能力。總體而言,400提供了高性能、經濟高效的解決方案來解決半導體器件制造中的蝕刻和灰燼難題。組合蝕刻器/asher設計、靈活的各種工藝應用功能以及可定制的功能使其成為各種先進半導體器件的理想解決方案。