二手 PVA TEPLA 600 #68457 待售

PVA TEPLA 600是一款高性能的蝕刻器/asher，用於去除許多表面的二氧化矽和氮化矽層，用於內存和邏輯芯片的生產。該系統是一種高溫、化學輔助的蝕刻工具，使用戶能夠以均勻的蝕刻速率快速有效地清除二氧化矽和氮化矽層。這種單一晶片蝕刻器/asher具有出色的分辨率和高通量，低化學消耗，導致高產量和極精確的模式在基板上。600是一種化學輔助蝕刻/灰化器，意味著表面用等離子體和與底物表面反應的化學物質處理。Asher允許超低殘留物用於改善粘合劑和電接觸性能。其專有的加載輔助蝕刻工藝允許均勻的蝕刻速率，從而產生高產率和出色的分辨率。TEPLA PVA TEPLA 600的化學消耗量較低,這要歸功於它的循環化學和環狀抗汙染特性。循環化學特性有助於最大限度地減少昂貴的化學廢物，優化化學補充的成本。這種再循環技術還可以提高蝕刻速率均勻性。600包括一個集成的自動化化學再生系統，允許延長化學壽命。其他特性包括可編程高壓電源、全光刻劑量能力、柔性工藝氣體混合。自動氣體混合允許使用多種蝕刻配方以及負載鎖配置。為改進反應控制，包括了環狀抗汙染和定時註射方案。PVA TEPLA 600是從晶圓中去除二氧化矽和氮化矽層的理想工具。該系統的高科技特性，如再循環化學和自動氣體混合，加上低化學消耗，使用戶能夠以最低成本實現最高產量的精確模式。