二手 PVA TEPLA / METROLINE 400 #9266257 待售

PVA TEPLA/METROLINE 400是一種用於半導體器件制造的基板精密蝕刻和灰化的蝕刻/灰化設備。該系統利用經專利驗證的等離子體產生技術，將電能轉移到氣態放電中，產生均勻、均勻的等離子體，創造理想的蝕刻和灰化條件。該裝置采用電動卡盤，用於安全的基板轉移，自動控制一致蝕刻剖面的參數，高效排氣過濾，堅固結構，以實現精確的蝕刻均勻性。該機設計具有互鎖保護、惰性氣體流量監測、過溫保護等多項安全功能。蝕刻器/asher具有大的蝕刻室,可確保在整個基板平面上均勻蝕刻。集成式真空鼓風機在室內保持恒定的氣氛。快速、精確的質量流控制器調節用於蝕刻和灰化的氣體比例。水平橢圓天線產生低頻射頻等離子體，產生具有低水平射頻能面相互作用的均勻蝕刻輪廓。該工具還與各種氣體兼容，包括O2、CF4、CHF3、HBr、NH4F和NF3。它還有一個溫度控制資產，能夠達到240°C的最高溫度，並包括一個用於精確溫度控制的精密熱電偶和加熱器。PVA TEPLA 400還具有集成的基板冷卻機制,可確保蝕刻和灰化後的蝕刻和灰化部件快速冷卻。除了型號的蝕刻功能外，設備還包括允許用戶監控所有系統參數的軟件包，以及與PVA專有的Dataway工藝管理單元的標準連接。這些功能允許完全記錄和控制蝕刻和灰化過程,從而使用戶能夠完全控制其過程。該機適用於需要精密、高產蝕刻和灰化的制造環境。