二手 PVA TEPLA Sam 400 Twin #9354414 待售

PVA TEPLA Sam 400 Twin是一款針對半導體和MEMS生產的苛刻需求而設計的先進蝕刻器/asher。雙站設計允許單個設備同時處理蝕刻和灰化過程,使其非常適合最大化吞吐量和效率。工業級的Sam 400 Twin為所有類型的材料提供全自動蝕刻/灰化設備,從矽膠和玻璃到陶瓷、金屬和塑料。它有兩個獨立的站，每個站由一個高精度、反射式OTF（光學瞄準指紋）蝕刻平臺和一個溫度範圍高達500 °C的強大石英管微波消光器組成。OTF目標化平臺具有獨特的點掃描技術，具有自動粗細聚焦感測功能。這樣可以對具有高縱橫比形式的精密覆蓋層的小特征進行高精度蝕刻。微波爐利用先進的多軸旋轉運動，降低微粗度，提高整體表面光潔度。它還具有高能離子源和具有集成安全功能的自動控制系統，以確保高效、安全的運行。組合的蝕刻/ashing單元帶有多種可選功能和附件。空氣冷卻機和可調節的排氣口允許量身定制和優化的過程控制,而內置的可視編碼工具和RFID識別則可以快速輕松地識別零件。還提供了廣泛的過程監測系統（如高溫計、質譜儀和紅外材料計），以提供對所有蝕刻和灰化過程的全面數據收集和監測。總體而言,PVA TEPLA Sam 400 Twin是為滿足半導體和MEMS生產的苛刻需求而設計的高級蝕刻器/asher。它提供了各種材料的快速、精確的蝕刻和粉刷,並能夠根據用戶需求定制和優化工藝。內置的安全和監控功能有助於提高安全性和效率,而各種選項和附件有助於提高任何流程的總體吞吐量。