二手 PVA TEPLA / TECHNICS 300-E #9049959 待售
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ID: 9049959
Plasma cleaning unit
Applications:
Photoresist stripping
Mask etching
Surface cleaning
Etching of class and ceramics
Etching of SiO2
Si3N4
Si
Removal of Polyimid and
Passivation layer process chamber
Quartz with Kapton cover
(3) Separate gas channels
Maximum rate per channel: 500 sccm
Working pressure: 0.5-1.5 mbar
250 V, 15 A.
PVA TEPLA/TECHNICS 300-E是一種蝕刻器/asher,用於各種表面整理操作。此蝕刻器/asher具有多種功能和應用程序。TECHNICS 300-E利用電阻加熱工藝快速蝕刻和粉刷表面.它能夠使零件承受高達250°C的溫度範圍、最高± 1°C的溫度調節範圍和最高30秒的時間控制範圍。溫度控制精度為± 2°C,可以0.1°C的增量調節。此蝕刻器/asher專為單區域熱處理而設計,能夠在垂直和水平模式下運行。它還具有真空儲罐設計,能夠精確的過程重復性,以獲得更準確和一致的結果。該蝕刻機配備了一個自動安全系統,該系統包括一個IC溫度控制器和地面故障裝置,以及一個緊急停止開關。內置冷卻系統可確保不超過操作溫度限制,從而保護樣品。PVA TEPLA 300E提供了單片、批、半批等各種蝕刻和灰化配置。它具有200毫米(寬)x 300毫米(長)x 250毫米(深)的加工室尺寸和SiC加熱元件,用於樣品的均勻加熱。它還能夠進行14英寸晶圓處理。總體而言,300-E是一種針對高效、精確的表面精加工操作而設計的蝕刻器/灰化器。配備了工藝室尺寸、溫度控制、可調時間控制、緊急停止開關、IC溫度控制等多種功能。它還包括各種蝕刻和ashing配置,以滿足運營商的具體需求。
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