二手 PVA TEPLA / TECHNICS 300 TL1000 #9247548 待售

PVA TEPLA/TECHNICS 300 TL1000 Asher是為工業用途而設計的高性能蝕刻器。是適用於所有半導體應用的氣控、單晶片和批處理設備。Asher使用化學和物理過程的組合來蝕刻各種基材中的圖樣和結構。所使用的氣體是氧氣和揮發性有機蒸氣的組合，與惰性氮氣混合。腔室壓力保持在恒定水平，以確保可重復和準確的工藝結果。TECHNICS 300 TL1000 Asher配備了多種功能,以確保質量和可靠性一致。它能夠產生超過100 nm/min的蝕刻或蝕刻濺射速率，最大吞吐量為每小時30晶圓。此外,asher能夠處理不同大小、形狀和類型的基板。用戶界面提供了狀態和參數設置的清晰視圖，以及全面的實時過程監控。PVA TEPLA 300 TL1000 Asher的供氣系統旨在為氣體提供穩定和可重復的劑量率。所有氣體都儲存在氣體濃度和流量得到精確控制的室內。通過多個氣體入口維持氣體混合物的均勻分布，以確保整個基板上均勻的蝕刻或濺射速率。300 TL1000 Asher配備了多項安全功能,以保護人員和設備。該裝置有一個門聯鎖裝置，當機器運行時，該裝置不能進入密室。先進的滅火工具可確保預防危險情況。此外,還對整個資產進行了CE安全合規性測試和認證。PVA TEPLA/TECHNICS 300 TL1000 Asher還配備了多種工藝控制選項,以確保均勻的蝕刻或濺射速率,變化最小。溫度、壓力和其他變量可以通過超精確反饋回路進行監控和控制。加熱模型旨在防止腔壁過熱，減少反應時間，確保過程結果均勻。最後，TECHNICS 300 TL1000 Asher是一種可靠、高效的蝕刻器/Asher，適用於要求最苛刻的半導體應用。其高吞吐量和易於使用的接口允許一致和可重復的過程結果。它配備了全面的安全功能和過程控制選項，以確保安全和準確性。