二手 PVA TEPLA / TECHNICS 400 #9169197 待售
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已售出
ID: 9169197
優質的: 2003
Plasma cleaners
Process chamber:
Material: Aluminum
Volume: 64 Liters
Chamber door: Aluminum
QUARTZ Inspection window: 100 mm
With ultraviolet and high-frequency radiation protection
Vacuum system:
Process pressure: ~0.2 - 2 mbar
Gas and vacuum piping:
High-grade steel
1/4" SWAGELOK Connections with aluminum KF components
Gas supply: 2 - 4 Separate gas ducts (2) option, metering by mass-flow controller
Venting: Solenoid valve and series throttle valve
Vacuum:
Ultimate pressure: ~0.03 mbar
Evacuation time up to 0.5 mbar: ~0.5 minutes
Vacuum measurement: Capacitive pressure gauge
Measuring range: 0.01 to 10 mbar
Microwave generator:
Regulated MAGNETRON
Frequency: 2.45 GHz
Power output: 0-1000 W
Fault monitoring: Overload protection
Control unit:
Process time
HF Output
Process pressure
Gas flow
Hardware: Centronics printer interface
Silicon keyboard:
Numeric keypad
Cursor block
Softkeys
Special function keys
Connections:
Plug and socket connection: 24V AC Vacuum pump switch-on relay, 1A microfuse
Control connection for external vacuum valve: 24 V AC
Vacuum connection: DN 63 KF
Gas connections:
(2) Process gases, supply pressure: 1 - 3 Bar vent connection
Supply pressure: 0.5 - 1 Bar
Cooling-system exhaust air: Pipe connection 100 mm outside Ø
Process gases:
Oxygen (O2)
Tetrafluoromethane (CF4)
Argon (Ar)
Helium (He)
Nitrogen (N2)
Air
Nitrous oxide (N2O)
Carbon dioxide (CO2)
Main power supply: 230 V, 50 / 60 Hz, Protected by 15 A slow-blow fuse
Power consumption: 2 kW Without pump
2003 vintage.
PVA TEPLA/TECHNICS 400是一種用於創建電路板的蝕刻/灰化設備。該系統非常適合最先進的工業應用，為表面蝕刻和化學蝕刻應用提供了高效可靠的工藝。該單元包括一個基座、一張桌子、一個蝕刻罐和一個控制器。還配有電源單元、通用計數單元、蝕刻控制機。TECHNICS 400配備了產生精確、可重復蝕刻速率的等離子弧技術。該技術可用於在同一基板上產生多種蝕刻深度。蝕刻速率也可以很容易地調整以產生垂直或水平蝕刻圖案。該工具還帶有可調節的工藝溫度,可根據正在執行的特定蝕刻類型進行調整。PVA TEPLA 400資產還配備了具有大型液晶顯示屏的直觀用戶界面。這樣可以方便地監視和調整蝕刻工藝參數,以及可視化工藝狀態。此外，該模型還配備了集成氯氣發生器，可自動感應氯氣的存在並相應調整蝕刻速率。這樣可以確保蝕刻過程中的最大安全性和效率。400設備還包括許多不同的蝕刻配件，如氧氣和一氧化二氮調節器、鉗子、真空泵和真空發生器。這些配件對於執行更精確的蝕刻操作至關重要。此外,系統還提供了詳細的操作手冊,其中提供了有關蝕刻過程的清晰、逐步的說明。總之,PVA TEPLA/TECHNICS 400蝕刻/灰化裝置是一種功能強大且可靠的機器,適用於工業和自行操作。它為用戶提供精確的蝕刻速率，方便的過程監控和調整，以及大量的蝕刻配件，以提高準確性和可靠性。
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