二手 PVA TEPLA / TECHNICS Gigabatch 300 #9358976 待售

PVA TEPLA/TECHNICS Gigabatch 300是一款高性能蝕刻器/asher,專為大容量蝕刻和灰化應用而設計。該設備利用行之有效的核心技術,提供高水平的蝕刻和灰化效率以及產品質量。TECHNICS Gigabatch 300基於可靠、精確的微處理器控制垂直結構，帶有一個大的開放式腔室，可容納各種各樣的晶圓和基板。該蝕刻器具有直觀的觸摸屏人機界面（HMI），用於設置過程參數。用戶可以在沒有事先知識或專業知識的情況下快速方便地控制蝕刻器/蝕刻器。PVA TEPLA Gigabatch 300具有豐富的功能,可提高蝕刻和灰化工藝的有效性。它包括一個先進的機器人堆棧系統，用於快速、安全地裝卸晶片和基板。蝕刻器/灰化器的工藝溫度範圍從300 °F到900 °F不等,可按5 °F的增量進行調節,以便更好地控制工藝中的精度。還包括一個實時監測過程的原位石英晶體光譜儀。Gigabatch 300具有高效的氣體輸送裝置,允許用戶為其工藝選擇理想的氣體混合物。選定的氣體儲存在一個普通的氣體箱中，允許精確的氣體輸送到載荷室。此外,該機設計用於低維護和易於維護的過程.PVA TEPLA/TECHNICS Gigabatch 300還具有防漏、高效的負載鎖定工具,可確保工藝室內的清潔反應。資產還有一個蒸汽再循環模型，用於維持反應室內的溫度剖面。這將確保晶片的快速冷卻，從而降低工藝成本。TECHNICS Gigabatch 300旨在提供出色的蝕刻或灰化工藝重復性,非常適合以經濟實惠的價格進行大容量蝕刻和灰化的客戶。PVA TEPLA Gigabatch 300具有多種功能,是在各種工業和學術環境中進行蝕刻和灰化的絕佳選擇。