二手 PVA TEPLA / TECHNICS GIGAbatch 380P #293637792 待售

ID: 293637792
Plasma system.
PVA TEPLA/TECHNICS GIGAbatch 380P是一種高端蝕刻器/asher設備,適用於從批量生產到直列生產的一系列應用。該系統具有真空工藝和高通量生產的優化技術。TECHNICS GIGAbatch 380P利用先進的過程控制單元,配有配方驅動的軟件,從而實現了簡單、可重復的過程設置和持續的過程優化。機器內置的過程分析能力進一步保證了可重復和最優的過程結果。此外,所有工藝參數都可以從用戶友好的觸摸面板上調節,可以鏈接到PC上;允許TEPLAPVA TEPLA GIGAbatch 380P針對幾乎任何生產環境進行定制。在GIGAbatch 380P的物理構建方面,支持堅固而重型的10英寸晶圓(á200mm),可確保重復和一致的蝕刻過程。這種晶片可以加工12á25mm的基材,具有均勻的蝕刻,整個批次的工藝結果分布均勻且均勻。此外,串聯顆粒過濾器可確保蝕刻過程不受汙染。PVA TEPLA/TECHNICS GIGAbatch 380P還配備了一系列先進的工藝化學進料和液晶顯示器,進一步確保了所有材料的一致和安全處理。該工具還提供低水平的液體消耗,由於其有效的反應濃度。最後,集成到TECHNICS GIGAbatch中的安全功能380P確保用戶的安心。該資產設計為以安全可靠的方式運行,同時提供最高級別的精度、可靠性和質量控制。這種徹底的測試有助於確保整個產品生命周期內蝕刻/灰化過程的過程穩定性和可轉移性。
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