二手 PVA TEPLA / TECHNICS Gigabatch 380P #293744535 待售

PVA TEPLA/TECHNICS Gigabatch 380P是一款高性能的等離子體蝕刻器/asher，設計用於提供半導體、MEMS和先進包裝行業底物的精確、均勻處理。這種先進的設備將創新技術與卓越的工程技術相結合,為廣泛的應用提供一致和可靠的結果。TECHNICS Gigabatch 380P的核心是其雙頻電容耦合等離子體（CCP）源,它產生高效的等離子體,並允許對多種材料進行低溫處理。該系統配備了多種氣體輸入，允許對工藝化學進行精確控制，並使各種基板的蝕刻或粉刷具有高選擇性和均勻性。PVA TEPLA Gigabatch 380P具有高通量能力的大腔室,適合同時處理多個樣品或大面積基板。該單元設計適應各種晶圓尺寸，從小塊到300毫米晶圓，為不同的研究和生產需求提供了靈活性。為了實現流程靈活性和優化,Gigabatch 380P配備了高級流程監控功能。實時過程監測工具，如光發射光譜學（OES）和質量流控制器，允許精確準確的過程參數調整，以始終如一地達到期望的結果。PVA TEPLA/TECHNICS Gigabatch 380P提供了廣泛的工藝配方和可定制參數,以滿足特定的應用程序要求。用戶可以通過直觀和用戶友好的界面輕松編程和修改流程序列,從而提供對蝕刻或灰化過程的靈活性和控制權。在安全性和可靠性方面，TECHNICS Gigabatch 380P設計有堅固的等離子體安全殼和排氣系統，以確保操作員的保護和環境合規性。該機設有全面的安全聯鎖和傳感器，以防止潛在的危險和保持安全的操作環境。PVA TEPLA Gigabatch 380P的維護和維護非常簡單高效,可輕松訪問關鍵組件和模塊化設計,以便快速更換或升級。該工具采用高質量的材料和組件來構建,以確保長期的性能和可靠性,最大限度地減少停機時間並最大限度地提高生產效率。總體而言,Gigabatch 380P是最先進的等離子體蝕刻器/asher資產,為要求苛刻的半導體和微電子應用提供了先進的工藝能力、精確的控制和高吞吐量。PVA TEPLA/TECHNICS Gigabatch 380P具有創新的設計、強大的性能和用戶友好的界面,是研究人員和制造商尋求以高質量和高效率實現基板精密統一加工的寶貴工具。